位于西安高新區(qū)的8英寸高性能特色工藝半導(dǎo)體生產(chǎn)線項(xiàng)目目前正在加緊建設(shè)中。作為陜西電子信息集團(tuán)有限公司牽頭推進(jìn)的項(xiàng)目，8英寸高性能特色工藝半導(dǎo)體生產(chǎn)線項(xiàng)目2022年9月通過國家“窗口指導(dǎo)”，力爭2024年建成投產(chǎn)，建成后該項(xiàng)目將填補(bǔ)我省8英寸制造領(lǐng)域的空白。

該項(xiàng)目的快速推進(jìn)，折射出了西安半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展的良好態(tài)勢。作為中國半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)版圖上的重要支點(diǎn)，西安集成電路產(chǎn)業(yè)集群入選第一批國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展工程。2021年，西安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模達(dá)到1513.5億元，同比增長22.4%，產(chǎn)業(yè)規(guī)模僅次于無錫、上海、深圳，居全國第四，產(chǎn)業(yè)規(guī)模位于全國第一梯隊(duì)。

龍頭企業(yè)“強(qiáng)磁場”輻射

產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)聯(lián)企業(yè)多點(diǎn)“開花”

一直以來，西安都是全國重要半導(dǎo)體領(lǐng)域的科研、教育和生產(chǎn)制造基地之一，誕生過我國第一臺極小規(guī)模集成電路微型計(jì)算機(jī)、第一塊16位微處理器，西安微電子技術(shù)研究所也曾代表著國內(nèi)最先進(jìn)的半導(dǎo)體科研水平。

自2003年西安引進(jìn)第一家集成電路外資企業(yè)英飛凌以來，西安已持續(xù)引進(jìn)了英特爾、三星、美光等國際半導(dǎo)體巨頭，以及華為、中興、華天、奕斯偉等國內(nèi)龍頭企業(yè)。

作為我國最早開發(fā)生產(chǎn)數(shù)字集成電路與新型半導(dǎo)體器件的骨干企業(yè)之一，陜西電子信息集團(tuán)有限公司在國內(nèi)首家研制成功MOSFET、IGBT半導(dǎo)體功率器件，是我國首條4英寸集成電路生產(chǎn)線的承擔(dān)者，擁有國防科工局唯一布局的功率MOS晶體管/IGBT芯片生產(chǎn)線。

“我們先后建成了1.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸生產(chǎn)線，具有半導(dǎo)體器件和集成電路設(shè)計(jì)、制造、封測全產(chǎn)業(yè)鏈能力?！标兾麟娮有畔⒓瘓F(tuán)有限公司相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹說，“‘十四五’期間，我們將搶抓國產(chǎn)替代和自主可控發(fā)展機(jī)遇，在現(xiàn)有基礎(chǔ)上布局建設(shè)高性能特色功率半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線，月產(chǎn)能達(dá)到5萬片。同時(shí)，在現(xiàn)有陜西半導(dǎo)體先導(dǎo)工藝技術(shù)平臺的基礎(chǔ)上，建設(shè)1條6英寸寬禁帶半導(dǎo)體器件生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)能3萬片。此外，8英寸高性能特色工藝半導(dǎo)體生產(chǎn)線項(xiàng)目正在建設(shè)中，該項(xiàng)目將填補(bǔ)我省8英寸制造領(lǐng)域的空白?！?/span>

“引進(jìn)一個(gè)企業(yè)，壯大一個(gè)產(chǎn)業(yè)”，通過龍頭企業(yè)的“強(qiáng)磁場”帶動和輻射，西安半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)鏈條逐步完善。

自2012年落地，位于西安的三星（中國）半導(dǎo)體有限公司已成為全球最重要的閃存芯片生產(chǎn)基地，不僅推動西安在半導(dǎo)體關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域上實(shí)現(xiàn)重要突破，也成為西安電子信息產(chǎn)業(yè)高速成長的加速器。

“我們順利完成了1期NAND閃存工廠、2期工廠和1期封裝工廠等的建設(shè)和投資，成為集半導(dǎo)體生產(chǎn)和封裝于一體的高科技生產(chǎn)園區(qū)?！比牵ㄖ袊┌雽?dǎo)體有限公司董事長介紹說，“我們將不斷強(qiáng)化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，打造良性的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系，加強(qiáng)與本地半導(dǎo)體相關(guān)企業(yè)的技術(shù)合作與交流?！?/span>

獨(dú)木不成林，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈道阻且長。作為一家集存儲芯片制造、封裝測試于一體的半導(dǎo)體龍頭企業(yè)，也需協(xié)同其他同行共同推進(jìn)。

“作為三星閃存項(xiàng)目的核心配套企業(yè)之一，東進(jìn)世美肯（西安）半導(dǎo)體材料有限公司主要業(yè)務(wù)領(lǐng)域?yàn)橄♂寗┥a(chǎn)，為三星配套半導(dǎo)體及FPD用材料和發(fā)泡劑。住化電子材料科技（西安）有限公司主要面向三星從事電子材料用高純度化學(xué)品的生產(chǎn)和銷售；圓益（西安）半導(dǎo)體科技有限公司為三星提供高純特氣及石英外管、石英內(nèi)管等元器件清洗服務(wù)。三星的‘龍頭效應(yīng)’吸引了美國空氣化工、住化電子材料、秀博瑞殷等120余家上游核心配套企業(yè)和省內(nèi)外200余家配套服務(wù)企業(yè)相繼落地?！蔽靼彩泄ば啪蛛娮有畔⑻幪庨L劉婷介紹說，“三星、中興、比亞迪電子、奕斯偉等一系列大型企業(yè)的落戶，有力推動西安半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)上下游配套環(huán)境不斷完善，并吸引越來越多的關(guān)聯(lián)企業(yè)聚集?！?emsp;

龍頭企業(yè)的“磁吸”，讓半導(dǎo)體及集成電路關(guān)聯(lián)企業(yè)在西安多“點(diǎn)”開花，涵蓋了從IC設(shè)計(jì)、IC制造、IC封裝測試的集成電路產(chǎn)業(yè)上下游環(huán)節(jié)，一條由企業(yè)串聯(lián)起的西安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展格局形成。

串“點(diǎn)”成“線”

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈條逐步完善

除了“龍頭效應(yīng)”帶動了西安半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)鏈條逐步完善外，近年來，西安以產(chǎn)業(yè)園區(qū)為載體，打造半導(dǎo)體及集成電路自主創(chuàng)新和技術(shù)轉(zhuǎn)化平臺，發(fā)揮產(chǎn)業(yè)集群效應(yīng)，推動半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)的持續(xù)“快跑”。

“在半導(dǎo)體及集成電路方面，高新區(qū)集聚了三星、美光、力成、奕斯偉、紫光國芯等龍頭企業(yè)，帶動產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)100余家。”高新區(qū)工信局產(chǎn)業(yè)促進(jìn)一部部長晏瓔介紹說，“高新區(qū)IC設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)居全國第五，半導(dǎo)體閃存芯片占全球閃存芯片產(chǎn)能10%以上。2021年西安高新區(qū)半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)制造業(yè)實(shí)現(xiàn)規(guī)上工業(yè)產(chǎn)值約1600億元。”

作為西安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心，西安高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)集中分布在軟件新城、綜合保稅區(qū)和長安通訊產(chǎn)業(yè)園等專業(yè)化園區(qū)。

“以西安紫光國芯為核心，軟件新城匯聚了聯(lián)詠、西谷微電子、智多晶等集成電路設(shè)計(jì)與測試企業(yè)。在存儲器開發(fā)、模擬芯片、高性能手機(jī)芯片等領(lǐng)域，集聚了國內(nèi)高能級設(shè)計(jì)力量?！标汰嫿榻B說，“在綜合保稅區(qū)，形成了以三星半導(dǎo)體存儲芯片制造為核心的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，集聚原材料/設(shè)備-制造-封裝-測試等環(huán)節(jié)30余家企業(yè)，三星二期產(chǎn)線已成功投產(chǎn)，形成3D閃存芯片、IPA、特種氣體等產(chǎn)品矩陣?！?/span>

在長安通訊產(chǎn)業(yè)園，形成了集成電路硅晶圓生產(chǎn)基地和光子產(chǎn)業(yè)基地。奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地生產(chǎn)12英寸集成電路用硅拋光片和外延片，預(yù)計(jì)到2023年年中產(chǎn)能將達(dá)到滿產(chǎn)50萬片，成為世界單體最大的硅產(chǎn)業(yè)基地；唐晶量子化合物半導(dǎo)體外延片處于光子產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)；西安光機(jī)所先導(dǎo)院創(chuàng)新平臺為光子材料與芯片、光子傳感、先進(jìn)激光與光子制造三個(gè)重點(diǎn)光學(xué)領(lǐng)域提供成果轉(zhuǎn)化平臺。

專業(yè)園區(qū)極大地促進(jìn)了產(chǎn)業(yè)的集聚，也促使高新區(qū)形成“材料設(shè)備—IC設(shè)計(jì)—IC制造—IC封測”的半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)鏈，成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)重要一極。

作為全省首個(gè)工業(yè)產(chǎn)值超過千億元的先進(jìn)制造業(yè)基地，西安經(jīng)開區(qū)是西部地區(qū)世界500強(qiáng)和央企投資最密集的區(qū)域之一。經(jīng)開區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)孵化基地借助華天科技在行業(yè)中的影響力，吸引以華天科技為中心的上下游企業(yè)聚集，引進(jìn)集成電路設(shè)計(jì)、研發(fā)及封測配套企業(yè)30-50家；同時(shí)，圍繞第三代半導(dǎo)體技術(shù)，西安經(jīng)開區(qū)在涇渭新城建設(shè)半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)鏈上下游集設(shè)計(jì)、制造、封裝、測試等于一體的產(chǎn)業(yè)園區(qū)，打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聚集園區(qū)，提升半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)力。

在半導(dǎo)體及集成電路各個(gè)專業(yè)園區(qū)的集聚下，企業(yè)間上下游互動不斷完善，配套能力持續(xù)提升。上下游的協(xié)同發(fā)展，促進(jìn)西安半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)鏈串“點(diǎn)”成“線”，形成了完整的產(chǎn)業(yè)鏈條。

串“珠”成“鏈”

繪就半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈全景圖

除了下游用戶之外，上游的研發(fā)能力也同樣重要。西安半導(dǎo)體企業(yè)，除了加強(qiáng)自主研發(fā)之外，也同時(shí)需要借力外腦。目前，西安現(xiàn)有半導(dǎo)體及集成電路相關(guān)科研機(jī)構(gòu)20余家，學(xué)歷教育機(jī)構(gòu)12個(gè)，從業(yè)人員近6萬人。

西安電子科技大學(xué)半導(dǎo)體國家工程研究中心是我國寬禁帶半導(dǎo)體領(lǐng)域唯一一個(gè)國家工程研究中心，是致力于第三代半導(dǎo)體技術(shù)研究與開發(fā)、科技成果轉(zhuǎn)化、高層次創(chuàng)新型人才培養(yǎng)的國家級研究基地；陜西光電子先導(dǎo)院依托西安光機(jī)所孵化培育模式，通過創(chuàng)建先導(dǎo)性創(chuàng)新平臺，推動光電子集成電路創(chuàng)業(yè)企業(yè)孵化成長，帶動光電子產(chǎn)業(yè)鏈聚集發(fā)展，打造國內(nèi)最具影響力的光電子產(chǎn)業(yè)生態(tài)高地。

為進(jìn)一步促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，西安從配套服務(wù)、政策支持、科技攻關(guān)等多個(gè)方面給予相關(guān)企業(yè)全方位的服務(wù)，以促進(jìn)半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的提升。“為提高半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的本地配套，西安圍繞奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目，著力提升12英寸單晶硅片工藝水平，爭取早日通過三星總部認(rèn)證許可，進(jìn)入三星核心供應(yīng)鏈體系，打造我國最大的硅材料產(chǎn)業(yè)基地。”劉婷介紹說。

為進(jìn)一步擴(kuò)大知名企業(yè)在西安的布局，我市將持續(xù)深化與比亞迪、中興、華為合作，支持奕斯偉、紫光國芯、華天科技等骨干企業(yè)技術(shù)升級和產(chǎn)能擴(kuò)充，提升企業(yè)核心競爭力。鼓勵三星、美光、力成等外資企業(yè)持續(xù)投資，擴(kuò)產(chǎn)擴(kuò)能。將芯派、龍騰、拓爾微等本地專精特新中小企業(yè)作為重點(diǎn)培育企業(yè)，培育8-10家細(xì)分領(lǐng)域領(lǐng)頭羊企業(yè)。

針對集成電路“卡脖子”領(lǐng)域，西安重點(diǎn)開展專項(xiàng)課題攻關(guān)和產(chǎn)業(yè)技術(shù)“揭榜掛帥”工作。支持西電、西交大、西工大、771所等優(yōu)勢科研資源聯(lián)合企業(yè)共同圍繞芯片設(shè)計(jì)與架構(gòu)、特色工藝制程、先進(jìn)封裝測試工藝等領(lǐng)域開展科技攻關(guān)。

“依托我市現(xiàn)有華為、中興等知名終端品牌研發(fā)中心的優(yōu)勢，西安將重點(diǎn)招商引資，預(yù)計(jì)達(dá)產(chǎn)后合計(jì)產(chǎn)值500億元以上?！睋?jù)劉婷介紹，陜西電子信息制造企業(yè)，已經(jīng)產(chǎn)生了良好的聚集拉動效應(yīng)。西安將全力實(shí)施“用芯”工程，多舉措、多模式、多方面打造集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，繪就西安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的美好藍(lán)圖。

文/西安報(bào)業(yè)全媒體記者 黃曉巍 市工信局供圖